1 引言
直流四探針測試法是微電子行業(yè)常用的測量材料電阻率的方法，通過測量材料的電阻率可以得到材料的摻雜濃度等重要信息。因此，在微電子工業(yè)中四探針測試儀一直是十分重要的測量儀器。

　　近年來，微電子工業(yè)在中國大陸發(fā)展迅速，傳統(tǒng)的數(shù)字式直流四探針測試儀需要手動(dòng)調(diào)節(jié)檔位，測量周期長、工作效率低，已經(jīng)無法適應(yīng)時(shí)代發(fā)展，國內(nèi)需要尋求一種新型的測試設(shè)備。

    　本文中介紹的數(shù)字化智能四探針測試儀可以自動(dòng)切換量程、自動(dòng)運(yùn)算相關(guān)的數(shù)據(jù)。用戶甚至可以在不了解四探針測試原理的情況下方便地測量材料的電阻率。該儀器具有PC機(jī)接口，通過PC機(jī)可以集中管理且硬件成本低廉。

2 測試原理
主要依據(jù)范德堡原理（如圖1）,通過兩根探針提供一個(gè)電流流過樣品，再用兩根探針測量樣品上的電位差，最后經(jīng)過相關(guān)運(yùn)算得到材料的電阻率。四探針測試儀的測試?yán)碚撘呀?jīng)相當(dāng)成熟

　　儀器的外觀如圖5，正面的面板上從左到右依次為電源開關(guān)、復(fù)位健、液晶顯示屏和探針插座。相比傳統(tǒng)四 探針測試儀它沒有電壓量程旋鈕與輸出電流調(diào)節(jié)旋鈕。由于以往需要人工進(jìn)行的電壓量程切換與輸出電流調(diào)節(jié)工作已經(jīng)被機(jī)器自動(dòng)完成，所以這兩個(gè)旋鈕被省略了。 儀器在操作上已經(jīng)充分簡化。

4 結(jié)論
本文中介紹的四探針測試儀將傳統(tǒng)四探針測試儀與嵌入式系統(tǒng)相結(jié)合。主要指標(biāo)與功能如下：功耗小于6W；測量范圍量程：0.025Ω-2500Ω； 自動(dòng)顯示小數(shù)點(diǎn)和單位；誤差：±0.5%；具有數(shù)字補(bǔ)償功能；自動(dòng)運(yùn)算結(jié)果；自動(dòng)切換量程，超出量程自動(dòng)報(bào)告；具有RS232接口可以和PC連接。

本文摘自《半導(dǎo)體技術(shù)》