CP是把壞的Die挑出來,可以減少封裝和測試的成本??梢愿苯拥闹?/span>Wafer 的良率。FT是把壞的chip挑出來;檢驗封裝的良率。 現(xiàn)在對于一般的wafer工藝,很多公司多把CP給省了;減少成本。 CP對整片Wafer的每個Die來測試 而FT則對封裝好的Chip來測試。 CP Pass 才會去封裝。然后FT,確保封裝后也Pass。 WAT是Wafer AcceptanceTest,對專門的測試圖形(test key)的測試,通過電參數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定; CP是wafer level的chip probing,是整個wafer工藝,包括backgrinding和backmetal(if need),對一些基本器件參數(shù)的測試,如vt(閾值電壓),Rdson(導(dǎo)通電阻),BVdss(源漏擊穿電壓),Igss(柵源漏電流),Idss(漏源漏電流)等,一般測試機(jī)臺的電壓和功率不會很高; FT是packaged chip level的Final Test,主要是對于這個(CPpassed)IC或Device芯片應(yīng)用方面的測試,有些甚至是待機(jī)測試; Pass FP還不夠,還需要做process qual 和product qual CP 測試對Memory來說還有一個非常重要的作用,那就是通過MRA計算出chip level 的Repair address,通過Laser Repair將CP測試中的Repairable die 修補(bǔ)回來,這樣保證了yield和reliability兩方面的提升。 CP是對wafer進(jìn)行測試,檢查fab廠制造的工藝水平 FT是對package進(jìn)行測試,檢查封裝廠制造的工藝水平 對于測試項來說,有些測試項在CP時會進(jìn)行測試,在FT時就不用再次進(jìn)行測試了,節(jié)省了FT測試時間;但是有些測試項必須在FT時才進(jìn)行測試(不同的設(shè)計公司會有不同的要求) 一般來說,CP測試的項目比較多,比較全;FT測的項目比較少,但都是關(guān)鍵項目,條件嚴(yán)格。但也有很多公司只做FT不做CP(如果FT和封裝yield高的話,CP就失去意義了)。 在測試方面,CP比較難的是探針卡的制作,并行測試的干擾問題。FT相對來說簡單一點。還有一點,memory測試的CP會更難,因為要做redundancy analysis,寫程序很麻煩。
CP在整個制程中算是半成品測試,目的有2個,1個是監(jiān)控前道工藝良率,另一個是降低后道成本(避免封裝過多的壞芯片),其能夠測試的項比FT要少些。最簡單的一個例子,碰到大電流測試項CP肯定是不測的(探針容許的電流有限),這項只能在封裝后的FT測。不過許多項CP測試后FT的時候就可以免掉不測了(可以提高效率),所以有時會覺得FT的測試項比CP少很多。 應(yīng)該說WAT的測試項和CP/FT是不同的。CP不是制造(FAB)測的! 而CP的項目是從屬于FT的(也就是說CP測的只會比FT少),項目完全一樣的;不同的是卡的SPEC而已;因為封裝都會導(dǎo)致參數(shù)漂移,所以CP測試SPEC收的要比FT更緊以確保最終成品FT良率。還有相當(dāng)多的DH把wafer做成幾個系列通用的die,在CP是通過trimming來定向確定做成其系列中的某一款,這是解決相似電路節(jié)省光刻版的最佳方案;所以除非你公司的wafer封裝成device是唯一的,且WAT良率在99%左右,才會盲封的。 據(jù)我所知盲封的DH很少很少,風(fēng)險實在太大,不容易受控。 WAT:wafer level 的管芯或結(jié)構(gòu)測試 CP:wafer level 的電路測試含功能 FT:device level 的電路測試含功能
CP=chip probing FT=Final Test CP 一般是在測試晶圓,封裝之前看,封裝后都要FT的。不過bumpwafer是在裝上錫球,probing后就沒有FT FT是在封裝之后,也叫“終測”。意思是說測試完這道就直接賣去做application。 CP用prober,probe card。FT是handler,socket CP比較常見的是roomtemperature=25度,FT可能一般就是75或90度 CP沒有QA buy-off(質(zhì)量認(rèn)證、驗收),FT有 CP兩方面
FT: 終測通常是測試項最多的測試了,有些客戶還要求3溫測試,成本也最大。 至于測試項呢,
CP測試主要是挑壞die,修補(bǔ)die,然后保證die在基本的spec內(nèi),functionwell。 FT測試主要是package完成后,保證die在嚴(yán)格的spec內(nèi)能夠function。 CP的難點在于,如何在最短的時間內(nèi)挑出壞die,修補(bǔ)die。 FT的難點在于,如何在最短的時間內(nèi),保證出廠的Unit能夠完成全部的Function。 |
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