氟化氫又被叫做化骨水，是半導體制造中不可或缺的材料。而早前日本政府宣布對氟化氫在內(nèi)的三種材料出口韓國進行管制，讓三星、SK海力士、LGD等企業(yè)陷入窘境，大家都在尋找其他可替代的方案。

韓國雖然是存儲器和OLED強國，但是生產(chǎn)材料、設備大多也依賴國外。尤其是韓國的原材料產(chǎn)業(yè)，天時、地利、人和都不具備，氟化氫等原材料的國產(chǎn)化進展緩慢。這次日本的出口管控，給韓國半導體產(chǎn)業(yè)敲響了警鐘，窘迫之后，韓國半導體企業(yè)迅速開啟了突圍之路。

日本限制氟化氫出口 韓國半導體生產(chǎn)慘遭鎖喉

7月4日，日本政府開始對包含氟化氫在內(nèi)的3項材料進行出口管制，隨后三星、SK海力士開始四處尋找替代對策。目前韓國相關(guān)企業(yè)雖有氟化氫精煉技術(shù)，但和日本企業(yè)相比仍有差距，日本企業(yè)掌握了氟化氫的關(guān)鍵精煉技術(shù)，一限制出口，就好像一把刀架在韓國半導體的脖子上，就算韓國半導體企業(yè)現(xiàn)在開始積極與韓國中小企業(yè)合作，短期內(nèi)也無法逐一調(diào)整所有半導體制程。

事實上，氟化氫在到達三星、SK海力士半導體工廠，投入蝕刻或洗凈制程前，還得經(jīng)過許多過程。半導體制造使用液體與氣體氟化氫，液狀產(chǎn)品為蝕刻液，氣狀產(chǎn)品為蝕刻氣體，氟化氫主要扮演去除氧化膜物質(zhì)功能，使堆疊層保持干凈平滑，如果不使用氟化氫進行清潔，每次制程皆可能發(fā)生污染，影響芯片功能。

傳統(tǒng)制造氟化氫方式，是利用螢石與硫酸反應產(chǎn)生氣體，之后再經(jīng)過蒸餾、降溫等方式取得液態(tài)氟化氫。螢石又被稱為氟石，算是一種「類稀土」，中國大陸螢石開采量約達全球的6成。

一般而言，石油化學制造使用99.9%的氟化氫，但半導體制造須使用99.999%以上的氟化氫。韓國企業(yè)多從日本進口高純度氟化氫。使用超高純度氟化氫可提升半導體良率，但超高純度氟化氫并不便宜，相同容量的氟化氫純度從99.9%提升至99.99%，產(chǎn)品價格可能相差30%。

目前，全球各大化工廠積極研發(fā)各種方法，制造符合工業(yè)級需求的高純度氟化氫。目前高純度氟化氫多由日本企業(yè)供應，液體及氣體氟化氫主要由Stella Chemifa、森田化學(Morita Chemical)及昭和電工主宰市場。

缺少大企業(yè)及政府支持 韓國氟化氫原地踏步

韓國有部分企業(yè)雖然有氟化氫制造技術(shù)，但是無法大量生產(chǎn)，主要原因就是需求匱乏。長期以來，韓國大企業(yè)多與日本企業(yè)進行交易，中小型企業(yè)如想搶單，須在價格或品質(zhì)上下功夫。然而，身為后方追兵的韓國中小企業(yè)，在提升品質(zhì)與壓低價格上屢屢遭遇挫敗，徒有技術(shù)卻遲遲無法將其規(guī)?；?。

身為買方的韓國大企業(yè)，認為日本的技術(shù)更好、價格更便宜，長期以來都采購日本產(chǎn)品。而這種采購方式，也導致了氟化氫供應主導權(quán)掌握日本手中，成為日本鉗制韓國半導體產(chǎn)業(yè)的利器。

韓媒國民日報日前報導，早在2011年7月曾有一家韓國中小企業(yè)，提出超高純度氟化氫生產(chǎn)技術(shù)專利，其運用超音波震動器，可精煉出半導體蝕刻制程用超高純度氟化氫，純度達99.999999999%以上。

韓國中小企業(yè)與大企業(yè)合作不成的部分原因，也與韓國政府加強化學物質(zhì)工廠設置管理有關(guān)。2012年韓國龜尾市發(fā)生8公噸氫氟酸外泄事件，之后韓國政府大幅提高化學工廠設置條件及標準。

2015年韓國修正《化學物質(zhì)管理法》及《化學物質(zhì)登錄及評價法》，不但有害化學物的登錄與管理趨于嚴格，相關(guān)設施的設置標準，也從原本的79項增至413項，測試不同化學品程序變得繁瑣，采用新化學物質(zhì)時須向主管單位進行報備，這樣就有了業(yè)務機密外泄的風險，也影響相關(guān)投資者投資的意愿。韓國業(yè)界因此認為從日本進口，不但便宜、品質(zhì)好，又可省下不少麻煩，因此沒有積極投入氟化氫國產(chǎn)化。

不過就在日本對韓國施行出口管制后，韓國大企業(yè)和政府的態(tài)度，開始出現(xiàn)明顯轉(zhuǎn)變。韓國政府開始接受業(yè)界建議，推動氟化氫新技術(shù)開發(fā)，計劃給予大企業(yè)20~30%、中型企業(yè)20~ 40%、中小企業(yè)30~40%研發(fā)費用稅制減免，也考慮將半導體產(chǎn)相關(guān)業(yè)，從1周52小時工時制中排除。

韓國政府目前計劃，縮短化學物質(zhì)許可時間，扶持新化學物質(zhì)上市。透過政府政策扶持、大企業(yè)增加投資，以及中小企業(yè)投入研發(fā)生產(chǎn)等，韓國正在加速建構(gòu)價值鏈與實現(xiàn)國產(chǎn)化，也許最快半年~1年，韓國去日本化成果將會逐漸浮現(xiàn)。

掌握關(guān)鍵原料與技術(shù) 日企業(yè)優(yōu)勢短期難撼動

所謂君子報仇3年不晚，像Stella Chemifa、森田化學，成立至今已有百年歷史，投入研發(fā)氟化氫時間少說也有數(shù)十年，三星、SK海力士、LGD近日雖傳出大力推動氟化氫國產(chǎn)化，但韓廠與日廠間的技術(shù)差距短期難以克服，盡管如此，韓國氟化氫等關(guān)鍵材料國產(chǎn)化勢在必行。

1916年Stella Chemifa創(chuàng)立于大阪，1994年與韓國Soulbrain等企業(yè)，于韓國忠清南道公州設立生產(chǎn)公司FECT，制造半導體生產(chǎn)用高純度氟化學物質(zhì)(氟化氫、NH4F等)。Stella Chemifa官網(wǎng)顯示，由于具有業(yè)界最獨家的優(yōu)異精煉技術(shù)，成功精煉出12N (99.9999999999%)純度氟化氫，獲得全球半導體業(yè)者極高評價。

創(chuàng)立于1917年森田化學，在韓國也設有生產(chǎn)工廠。森田化學為日本第一家將氟化氫商用化的企業(yè)，2010年與ENF Technology、三星物產(chǎn)及KAI等，在忠清南道牙山合資設立FEM Technology，主要從森田化學進口原料再加工，成品供應韓國企業(yè)。

生產(chǎn)氟化氫的日本材料企業(yè)，雖然在韓國設有合資或子公司，但原料卻要從日本進口，因日本企業(yè)對核心技術(shù)外流高度警戒。目前已有不少韓國企業(yè)投入國產(chǎn)化研發(fā)，打算從中國大陸進口原料加以精煉，例如Soulbrain等致力國產(chǎn)化蝕刻液，SK Materials擬采自行研發(fā)技術(shù)生產(chǎn)蝕刻氣體，但想追上日本的技術(shù)、品質(zhì)與產(chǎn)量，仍然需一段時間，韓國政府與企業(yè)須有制定中長期計劃與長期抗戰(zhàn)的心理準備。

開始突圍 三星、LG Display已開始采用國產(chǎn)氟化氫

在受到日本的限制后，韓國各界采用各種方法開始了自救，不得不說韓國企業(yè)的執(zhí)行力真的強。據(jù)消息透露，韓國面板大廠LG Display已完成采用國產(chǎn)高純度氟化氫的測試，并開始應用于制程，比該公司原先預期提前一個月。

《BusinessKorea》9月2日報導，據(jù)業(yè)界消息人士1日透露，LG Display最近完成國產(chǎn)高純度氟化氫的最終測試流程，已開始用于產(chǎn)線之中，且產(chǎn)量和成本均符合該公司的需求。

此外，三星旗下面板事業(yè)Samsung Display也預計在9月完成國產(chǎn)高純氟化氫的測試，并很可能在最終測試完成后，立即用于量產(chǎn)面板。

另據(jù)一位韓國政府官員表示，國產(chǎn)氟化氫的成功將使得韓國大大降低對日本氟化氫的依賴，目前需要解決的就是后續(xù)量產(chǎn)的問題。

結(jié)語

長期以來，韓國大企業(yè)與中小企業(yè)合作并不密切，加上韓國氟化氫設廠屢遭民間團體反對，氟化氫國產(chǎn)化陷入停滯。但這次日本政府對出口韓國關(guān)鍵材料進行管制卻直接推動了這一進程。

從日韓的對立情況來看，兩國的關(guān)系不太可能在短時間內(nèi)修復，日本還會繼續(xù)通過管制措施制裁韓國，但是韓國已經(jīng)選擇了要突出重圍，決定在重要材料上轉(zhuǎn)向國產(chǎn)自主，預計在未來5年里投入5萬億韓元（約合295億人民幣）實現(xiàn)100多種重要材料及裝備的國產(chǎn)化，氟化氫只是這突圍戰(zhàn)中的一小步。