硅酸乙酯（英文名稱ethyl silicate）又名正硅酸乙酯（tetraethyl orthosilicate），四乙氧基硅烷（Tetraethoxysilane），簡稱TEOS。常溫下硅酸乙酯為無色透明液體，有特殊臭味。無水存在下穩(wěn)定，遇水分解成乙醇與硅酸，在潮濕空氣中變渾濁，溶于醇、醚等有機(jī)溶劑。分子式為(C2H5O)4Si，熔點(diǎn)-77℃，沸點(diǎn)168.1℃。有毒，對(duì)人眼和呼吸道有強(qiáng)烈刺激性。由四氯化硅和無水乙醇作用后經(jīng)蒸餾而制得。用于制耐熱和耐化學(xué)腐蝕涂料和制備有機(jī)硅溶劑，也可用于有機(jī)合成，制備高級(jí)水晶的基本原料，光學(xué)玻璃處理劑、結(jié)合劑、電子工業(yè)的絕緣材料等。