昨日（12月14日），在粵港澳大灣區(qū)的廣州增城，一條12英寸MEMS晶圓產(chǎn)線正式開(kāi)工建設(shè)，這意味著什么？

這意味著未來(lái)中國(guó)乃至全球最大的MEMS產(chǎn)線或許在這里誕生？！同時(shí)，這吹響了中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)前所未有的核心芯片產(chǎn)線建設(shè)號(hào)角！中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)核心芯片的建設(shè)達(dá)到前所未有的高度！

在廣州增芯背后，未來(lái)3年內(nèi)，包括深圳、蚌埠、鄭州、合肥、嘉定、紹興等地，都有開(kāi)工/計(jì)劃建設(shè)MEMS晶圓中試線或產(chǎn)線！

廣州12英寸MEMS晶圓產(chǎn)線情況怎樣？其他各地有什么新建MEMS產(chǎn)線計(jì)劃？為什么會(huì)形成今天的MEMS傳感器芯片建設(shè)熱潮？未來(lái)中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)會(huì)迎來(lái)突破嗎？或許，這就是中國(guó)傳感產(chǎn)業(yè)蛻變的契機(jī)！

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未來(lái)中國(guó)/全球最大MEMS產(chǎn)線？！總投資370億元！月產(chǎn)能6萬(wàn)片！廣州增芯12英寸MEMS晶圓產(chǎn)線正式開(kāi)工！

昨日（12月14日），廣州增芯項(xiàng)目正式開(kāi)工建設(shè)，廣州增芯項(xiàng)目的全稱是增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目，由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)發(fā)起，目前建設(shè)的為一期第一階段項(xiàng)目，批復(fù)投資70億元人民幣，將建設(shè)月加工2萬(wàn)片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線。項(xiàng)目于2022年12月開(kāi)工，計(jì)劃2024上半年通線，2025年年底滿產(chǎn)。

此前，據(jù)《廣州市2022年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃》顯示，廣州增芯項(xiàng)目總投資將達(dá)到370億元！打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測(cè)與應(yīng)用為一體的MEMS制造平臺(tái)。一期第一階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能2萬(wàn)片/月；一期第二階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能擴(kuò)至6萬(wàn)片/月。

據(jù)廣州日?qǐng)?bào)披露，增芯項(xiàng)目已與10家MEMS設(shè)計(jì)骨干企業(yè)簽訂合作協(xié)議，共同定制工藝設(shè)備、開(kāi)發(fā)特色工藝技術(shù)，包括但不限于加速度傳感器、慣性傳感器、磁傳感器、基因測(cè)試芯片、微流控芯片、硅基麥克風(fēng)芯片等。

值得一提的是，增芯是我國(guó)少有的全市場(chǎng)化資金來(lái)源的芯片制造項(xiàng)目，是我國(guó)市場(chǎng)化程度最高的集成電路產(chǎn)業(yè)平臺(tái)之一。

一期2萬(wàn)片的月產(chǎn)能，以及后期高達(dá)6萬(wàn)片的月產(chǎn)能，讓廣州增芯有望成為未來(lái)中國(guó)乃至全球最大的MEMS晶圓代工廠。

▲賽微電子MEMS產(chǎn)能數(shù)據(jù)（來(lái)自賽微電子2021年報(bào)）

作為對(duì)比，當(dāng)前全球最大的MEMS晶圓代工廠——賽微電子旗下瑞典Silex產(chǎn)線（FAB1&FAB2），年產(chǎn)能約84000片，賽微電子北京產(chǎn)線（FAB3）目前規(guī)劃產(chǎn)能30000片/年，中芯集成（紹興）的MEMS晶圓代工年銷量約85000片左右。

且以上MEMS晶圓代工產(chǎn)線均是8英寸線，12英寸晶圓較8英寸晶圓相比，其面積上提升約2.23倍，就單硅片產(chǎn)出來(lái)看，8英寸晶圓產(chǎn)出芯片88塊，而12英寸晶圓產(chǎn)出芯片則達(dá)到232塊。

因此，廣州增芯12英寸MEMS產(chǎn)線一期月產(chǎn)2萬(wàn)片年產(chǎn)24萬(wàn)片，后期年產(chǎn)36萬(wàn)片12英寸MEMS晶圓的產(chǎn)能規(guī)劃，如果投產(chǎn)順利，將極大可能鎖定中國(guó)乃至全球最大的MEMS晶圓代工廠的位置。

多地排隊(duì)推進(jìn)！深圳珠海蚌埠合肥河南紹興嘉定！未來(lái)3年中國(guó)MEMS傳感器芯片產(chǎn)線建設(shè)新熱潮！

本次廣州增芯項(xiàng)目的開(kāi)工建設(shè)，也掀起了中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)前所未有的傳感器芯片產(chǎn)線建設(shè)的浪潮！成為中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)的歷史性事件！

下面，我們來(lái)看看廣州增芯背后，眾多盛大的MEMS晶圓產(chǎn)線開(kāi)建項(xiàng)目：

深圳：投資15.33億元建MEMS中試線

同為粵港澳大灣區(qū)明星城市的深圳，在上個(gè)月（11月），深圳光明區(qū)舉行的中國(guó)傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)暨光明專項(xiàng)招商大會(huì)上，已敲定總投資額約15.33億元的大灣區(qū)MEMS中試線項(xiàng)目將落戶深圳光明區(qū)。

該項(xiàng)目規(guī)劃建設(shè)一條約產(chǎn)能3000片的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風(fēng)、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺(tái)。同時(shí)，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地光明。

此前，深圳市政府出臺(tái)了關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來(lái)產(chǎn)業(yè)的意見(jiàn)。在深圳“20+8”產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向及布局中，智能傳感器是重點(diǎn)發(fā)展的20個(gè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群之一，光明是全市重點(diǎn)布局的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)之一。

此外，同為粵港澳大灣區(qū)核心城市之一的珠海，也出臺(tái)打造集成電路等“五大千億級(jí)產(chǎn)業(yè)集群”的政策。

珠海高新區(qū)在2021年與奧松半導(dǎo)體（珠海）有限公司（廣州奧松電子珠海子公司）簽署合作協(xié)議，項(xiàng)目一期投資30億元，建設(shè)8英寸先進(jìn)MEMS特色半導(dǎo)體芯片量產(chǎn)線、8英寸共享MEMS晶圓研發(fā)產(chǎn)線、大灣區(qū)智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓及產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室、車規(guī)級(jí)傳感器可靠性檢測(cè)中心等項(xiàng)目。

蚌埠：超76億元投資，多條MEMS晶圓產(chǎn)線建設(shè)！

據(jù)相關(guān)媒體報(bào)道，蚌埠經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)2022年工作總結(jié)中，有多條MEMS晶圓產(chǎn)線擬開(kāi)建/正在建設(shè)/擴(kuò)建，包括：總投資50億元的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目順利通過(guò)國(guó)家發(fā)改委窗口指導(dǎo)。總投資10億元的6英寸MEMS晶圓擴(kuò)能項(xiàng)目（5000片）部分設(shè)備正在安裝調(diào)試，預(yù)計(jì)明年上半年達(dá)產(chǎn)；總投資11億元的融薇科技6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目全套生產(chǎn)設(shè)備已運(yùn)抵蚌埠，正在開(kāi)展廠房裝修改造；總投資5億元的仙羋智造新型智能功率模組(IPM)研發(fā)生產(chǎn)基地、芯動(dòng)聯(lián)科MEMS封裝測(cè)試生產(chǎn)及研發(fā)項(xiàng)目正加快建設(shè)，計(jì)劃年底前正式投產(chǎn)。

此外，在2023年工作目標(biāo)和主要舉措中，蚌埠經(jīng)開(kāi)區(qū)指出將全力服務(wù)推進(jìn)8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目和融薇科技6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目（6000片）建成試運(yùn)行；全力推進(jìn)6英寸MEMS晶圓擴(kuò)能項(xiàng)目（5000片）建成達(dá)產(chǎn)；力爭(zhēng)2023年底形成6吋MEMS晶圓11000片/月、8吋MEMS晶圓10000片/月產(chǎn)能。圍繞晶圓代工核心能力，充分釋放封測(cè)核心產(chǎn)能，加快推進(jìn)芯動(dòng)聯(lián)科封測(cè)、仙羋智造功率模組等重點(diǎn)項(xiàng)目建成投產(chǎn)，服務(wù)推進(jìn)禹芯半導(dǎo)體、希磁科技產(chǎn)業(yè)園等建成項(xiàng)目產(chǎn)能爬升，計(jì)劃到2023年底，園區(qū)封測(cè)企業(yè)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值超20億元。

此前，蚌埠已制定中國(guó)(蚌埠)傳感谷發(fā)展戰(zhàn)略，擁有中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)214所、芯動(dòng)聯(lián)科等一批智能傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)制造企業(yè)，計(jì)劃用5年時(shí)間吸引國(guó)內(nèi)外傳感器及物聯(lián)網(wǎng)200余家優(yōu)勢(shì)企業(yè)在蚌埠形成產(chǎn)業(yè)集聚，到2025年，產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破200億元，帶動(dòng)關(guān)聯(lián)業(yè)態(tài)規(guī)模達(dá)到300億元。

同為安徽主要工業(yè)城市，省會(huì)合肥，也在今年初與賽微電子簽署合作協(xié)議，擬在合肥高新區(qū)投資建設(shè)12吋MEMS制造線項(xiàng)目，總投資51億元，擬建設(shè)一座設(shè)計(jì)產(chǎn)能為2萬(wàn)片/月的12吋MEMS產(chǎn)線，預(yù)計(jì)滿產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)年收入約30億元。

河南：2022重點(diǎn)工程，推進(jìn)河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)建設(shè)

近幾年，河南省著力發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)，省會(huì)城市鄭州已連續(xù)四次舉辦世界傳感器大會(huì)，帶動(dòng)了河南省內(nèi)本土傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

在河南省公布的《2022年河南省重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目名單》總，共計(jì)1794個(gè)項(xiàng)目，總投資約4.8萬(wàn)億元，年度計(jì)劃投資超1.3萬(wàn)億元。其中，河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)為年度重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目之一。

名單中提到，將在鄭州高新區(qū)建設(shè)河南省智能傳感器MEMS中試平臺(tái)，總建筑面積6.6萬(wàn)平方米，主要建設(shè)智能傳感器MEMS8吋中試平臺(tái)，圍繞智能傳感器的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)和應(yīng)用等全產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)布局，建設(shè)產(chǎn)能3000-5000片/月的8吋MEMS中試平臺(tái)。

目前，河南省傳感器產(chǎn)業(yè)規(guī)模近330億元，形成了“一谷六園”發(fā)展格局，培育出漢威科技、光力科技、新天科技、三暉電氣、森霸傳感等一大批上市企業(yè)，氣體、紅外傳感器國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率第一，中國(guó)（鄭州）智能傳感谷核心區(qū)位列“中國(guó)十大傳感器產(chǎn)業(yè)園區(qū)”第五名。

紹興嘉定蘇州無(wú)錫：長(zhǎng)三角巨無(wú)霸的MEMS擴(kuò)建/升級(jí)

長(zhǎng)三角地區(qū)一直以來(lái)是中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)的聚集地，占據(jù)中國(guó)傳感產(chǎn)業(yè)的半壁江山，是中國(guó)MEMS傳感器芯片研發(fā)、生產(chǎn)的前沿陣地，此前已建有多條MEMS產(chǎn)線/中試線。

譬如我國(guó)首條首條、兼容CMOS的8英寸“超越摩爾”MEMS研發(fā)中試線，就在上海嘉定，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建。2022年國(guó)內(nèi)首條12英寸MEMS傳感器研發(fā)中試線，同樣落戶嘉定，由國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心構(gòu)建。

此外，中國(guó)智能傳感器10大園區(qū)中，蘇州工業(yè)園區(qū)（排名第一）、上海嘉定區(qū)、無(wú)錫高新區(qū)、常州高新區(qū)、紹興濱海新區(qū)均在長(zhǎng)三角。

在11月，中芯集成（紹興）成功IPO過(guò)會(huì)，計(jì)劃募集125億元資金，主要用于MEMS晶圓芯片產(chǎn)線的擴(kuò)建。詳細(xì)情況可參看：剛剛！中國(guó)大陸最大MEMS代工廠IPO過(guò)會(huì)！募資125億創(chuàng)紀(jì)錄！

上海嘉定，由拜安科技和綜保區(qū)公司共同出資建設(shè)，總投資約1.5億元，拜安半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)線項(xiàng)目致力于MEMS光纖傳感器芯片的制造和封裝測(cè)試及相關(guān)研發(fā)業(yè)務(wù)，已于2022年底試運(yùn)營(yíng)，2024年實(shí)現(xiàn)達(dá)產(chǎn)。

為什么掀起MEMS中試線/產(chǎn)線建設(shè)熱潮？

1、掙脫卡脖子困境，帶動(dòng)地區(qū)傳感產(chǎn)業(yè)升級(jí)

高科技產(chǎn)業(yè)，技術(shù)為本。在一顆MEMS傳感器中，什么最重要？MEMS傳感器核心為MEMS芯片——用來(lái)感知信號(hào)，以及ASIC芯片——用來(lái)處理信號(hào)，其中MEMS芯片是技術(shù)含量最高的部件。

▲MEMS聲學(xué)傳感器構(gòu)造圖（來(lái)自歌爾微招股書(shū)）

當(dāng)前，中國(guó)絕大部分本土MEMS企業(yè)，采購(gòu)海外傳感器企業(yè)設(shè)計(jì)好的芯片以及與傳感器配套的其他芯片如ASIC信號(hào)調(diào)理電路芯片，自行或委托代工廠完成傳感器的封裝和測(cè)試，再將傳感器成品銷售給下游終端客戶。

未來(lái)，受國(guó)外技術(shù)進(jìn)口、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)倒逼以及下游封裝市場(chǎng)等因素的影響，中國(guó)本土企業(yè)自主化能力提高，大部分中國(guó)MEMS企業(yè)將向Fabless模式演變，MEMS研發(fā)中試線平臺(tái)將能有力幫助這些企業(yè)提高自主設(shè)計(jì)能力。

隨著本土傳感器企業(yè)成為具備芯片設(shè)計(jì)能力的Fabless公司，中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)整體水平將能得到巨大提升，也能倒逼國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)線擴(kuò)張，去除被國(guó)外公司芯片“卡脖子”的隱憂。

因?yàn)?/span>MEMS傳感器的瓶頸不在于先進(jìn)的晶圓制造設(shè)備，而在生產(chǎn)工藝、技術(shù)的調(diào)校上，MEMS中試線將能加快企業(yè)芯片設(shè)計(jì)和工藝研發(fā)進(jìn)展。

2、極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本

MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)與其他高新科技產(chǎn)業(yè)一樣，是一個(gè)技術(shù)、人才、資金密集的產(chǎn)業(yè)。

如下圖所示，智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈非常長(zhǎng)，涉及數(shù)十個(gè)環(huán)節(jié)，產(chǎn)業(yè)鏈的每個(gè)環(huán)節(jié)投入都較大，單一企業(yè)很難獨(dú)自承受產(chǎn)業(yè)鏈所有環(huán)節(jié)所需要的技術(shù)知識(shí)、人力成本及設(shè)備投入，且只有每個(gè)環(huán)節(jié)的產(chǎn)量足夠大，才能覆蓋其綜合成本，因而，智能傳感產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)出專業(yè)化、規(guī)?；椭悄芑奶攸c(diǎn)，即每個(gè)環(huán)節(jié)都可成為一家獨(dú)立的公司參與到產(chǎn)業(yè)鏈的生態(tài)發(fā)展，而生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)是所有環(huán)節(jié)中投入最大的部分。

▲來(lái)源：深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書(shū)

據(jù)中原智能傳感研究院執(zhí)行院長(zhǎng)李揚(yáng)介紹：

以MEMS中試線和量產(chǎn)代工線投資為例，一條8吋的MEMS中試線，以月產(chǎn)能3000-5000片為例，總投資在10億以上。包括廠房建設(shè)、超凈間建設(shè)、危廢處理等附屬設(shè)施、設(shè)備等，其中設(shè)備的投資占50%。每年的運(yùn)維費(fèi)用，超凈間維護(hù)費(fèi)用在4000萬(wàn)左右，其中電費(fèi)占50%，因半導(dǎo)體設(shè)備的高精度和高可靠性要求，需長(zhǎng)時(shí)間保持運(yùn)轉(zhuǎn)或待機(jī)狀態(tài)。以賽微電子亦莊8吋線為例，規(guī)劃月產(chǎn)能3萬(wàn)片，一期建設(shè)產(chǎn)能1萬(wàn)片/月，建設(shè)投資25.9億，且后續(xù)還需要持續(xù)的投入研發(fā)。行業(yè)的資金投入程度可見(jiàn)一斑。

同時(shí)，MEMS傳感器芯片與一般芯片不一樣的是，其工藝制造和調(diào)校更復(fù)雜，需要更多的與MEMS產(chǎn)線精密結(jié)合的工作，其研發(fā)流片過(guò)程更長(zhǎng)、更久，一般企業(yè)無(wú)法承受如此昂貴的研發(fā)成本。

通過(guò)建設(shè)MEMS研發(fā)中試平臺(tái)，打造共享研發(fā)中心，為傳感器企業(yè)提供傳感器芯片流片服務(wù)、封裝服務(wù)和測(cè)試服務(wù)，將能極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本，提高企業(yè)市場(chǎng)存活力和競(jìng)爭(zhēng)力。

3、地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心

從上文我們看到，粵港澳大灣區(qū)打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)，要建MEMS產(chǎn)線/中試線；鄭州傳感谷、蚌埠傳感谷，同樣要建MEMS中試線；老牌智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，幾乎都有MEMS產(chǎn)線/中試線作為底子。

可見(jiàn)，打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，建設(shè)MEMS中試線已成為公示。為什么要建MEMS產(chǎn)線/中試線？因?yàn)檫@是地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心、主心骨。

這里有兩個(gè)例子：

蘇州納米城提前布局，自2014年MEMSRIGHT的中試線貫通后，借助蘇州納米所的研發(fā)基礎(chǔ)，圍繞MEMSRIGHT中試線，構(gòu)造了“納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈”，經(jīng)過(guò)8年多的發(fā)展，截至2021年9月累計(jì)建成載體近50萬(wàn)平方米，集聚各級(jí)領(lǐng)軍人才超250人，入駐企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)超400家，其中科創(chuàng)板上市企業(yè)2家（其中不乏敏芯微這樣的獨(dú)角獸企業(yè)），國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)近90家，中科院蘭化所蘇州研究院等中科院下屬機(jī)構(gòu)5家，蘇州劍橋等4個(gè)國(guó)外納米創(chuàng)新中心，已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)發(fā)展最好的傳感產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

相反的是，常州2015年就提出打造“中國(guó)國(guó)際傳感谷”，建設(shè)傳感小鎮(zhèn)，但由于常州并沒(méi)有建設(shè)支撐MEMS傳感器發(fā)展的核心研發(fā)中試平臺(tái)，而成為一個(gè)普通的招商產(chǎn)業(yè)園，現(xiàn)在已經(jīng)鮮為人知了。

一個(gè)地區(qū)的傳感器產(chǎn)業(yè)，沒(méi)有建設(shè)好MEMS研發(fā)中試平臺(tái)，就很難發(fā)展核心技術(shù)，開(kāi)發(fā)特色工藝，不斷孵化創(chuàng)新性企業(yè)，吸引產(chǎn)業(yè)上下游聚集，形成產(chǎn)業(yè)鏈。

結(jié)語(yǔ)

隨著一期月產(chǎn)能達(dá)20000片/月的廣州增芯12英寸MEMS產(chǎn)線的開(kāi)工，吹響了中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)大發(fā)展的號(hào)角！

在廣州增芯后面，深圳珠海蚌埠合肥鄭州嘉定紹興等等地區(qū)的智能傳感器產(chǎn)業(yè)園、傳感谷，都將迎來(lái)一大波MEMS產(chǎn)線/中試線的新建、擴(kuò)建浪潮。

希望，在堅(jiān)實(shí)的國(guó)產(chǎn)MEMS晶圓產(chǎn)線的支撐下，眾多采購(gòu)封裝的組裝廠模式的國(guó)產(chǎn)傳感器企業(yè)，能實(shí)現(xiàn)芯片設(shè)計(jì)等自主技術(shù)的提升，這才能擺脫中國(guó)傳感產(chǎn)業(yè)被卡脖子的困境